電子束蒸發(fā)系統(tǒng) (Thin Film Depostion System)

主要技術(shù)指標：電子槍功率3kW，本底真空10E-9Torr，6寸旋轉(zhuǎn)樣品托(可液氮冷卻)，坩堝5*2.24cc 功能/應用范圍：蒸鍍各種金屬薄膜 主要測試和研究領(lǐng)域：電子/信...

復旦大學物理學系

電子束蒸發(fā)鍍膜機

主要技術(shù)指標：系統(tǒng)的極限壓強可達≤5x10-8Torr；30分鐘從大氣壓抽到≤5x10-6Torr;坩堝的數(shù)目4個，坩堝的容量不小于7cc;電子槍功率不小于5kW。 功能/應用范圍：主要用于...

復旦大學物理學系

感應耦合等離子刻蝕系統(tǒng)

主要技術(shù)指標：樣品尺寸：2,4，6英寸基片，兼容加工小片和碎片；有加熱和冷卻裝置；下電極溫度范圍-150°C…+400°C；刻蝕氣體8路：HBr，SF6，C4F8,CHF3，BCl3,O2,N2,Ar。...

復旦大學物理學系

快速純化工藝系統(tǒng)

儀器用途?蛋白純化

南京農(nóng)業(yè)大學

感應耦合等離子刻蝕系統(tǒng)

主要技術(shù)指標：樣品尺寸：2,4，6英寸基片，兼容加工小片和碎片；有加熱和冷卻裝置；下電極溫度范圍-150°C…+400°C；刻蝕氣體8路：HBr，SF6，C4F8,CHF3，BCl3,O2,N2,Ar。...

復旦大學物理學系