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2025年09月17日星期三

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化學機械拋光系統

　　主要技術指標：8寸　　功能/應用范圍：拋光硅片　　主要測試和研究領域：電子/信息技術　　收費標準：其它收費方式　...

復旦大學信息科學與工程學院
上海楊浦區
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電子束光學鍍膜機系統

　　主要技術指標：1.真空腔尺寸:Φ1100×12002.極限真空度:2×10-4Pa3.坩堝容積:2×1000ml3.電子槍功率：10kW　　功能/應用范圍：可用于氧化物等薄...

復旦大學信息科學與工程學院
上海楊浦區
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