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  • 對應法規:根據客戶需要
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  • X射線光電子能譜儀(XPS) 俄歇電子能譜儀(AES) X射線光電子能譜利用光電效應的原理,測量X射線激發出的光電子能量和計數,對樣品表面幾個納米深度的范圍內進行半定量的成分和化學態分析;俄歇電子能譜利用電子激發出的俄歇電子,對表面進行微區的成分和化學態分析。XPS和AES結合離子濺射還可以對多層膜等樣品進行深度剖析,測得每層的成分、化學態以及相應的厚度。 測試范圍與服務項目:各種固體表面的元素成分、化學價態、分子結構分析和深度剖析等。 掃描電子顯微鏡(SEM) X射線能譜儀(EDS) 掃描電子顯微鏡利用二次電子或背散射電子成像,對樣品表面放大一定的倍數進行形貌觀察,最大放大倍數可達30萬倍,同時利用電子激發出樣品表面的特征X射線來對微區的成分進行定性定量分析。 測試范圍與服務項目:各種固體材料的形貌分析、微區化學成分檢測,樣品成分的線分布和面分布分析。
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張國平

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