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儀器類別:
應(yīng)用領(lǐng)域:
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主要技術(shù)指標(biāo):真空度達(dá)1X10-6乇,襯底溫度可達(dá)100度直流濺射電源功率1000瓦 功能/應(yīng)用范圍:有2個(gè)DC濺射靶,可以在真空狀態(tài)下濺射生成一類材料薄膜或多層不同薄膜,...
上海楊浦區(qū)
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主要技術(shù)指標(biāo):波長(zhǎng)范圍190-1000nm,功能/應(yīng)用范圍:測(cè)量薄膜折射率,消光系數(shù)和薄膜厚度主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:材料/珠寶首飾電子/信息技術(shù)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn):其它收費(fèi)...
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主要技術(shù)指標(biāo):離子束:30kv分辨率7nm,加速電壓2-30kv。電子束:鎢燈絲電子槍 功能/應(yīng)用范圍:材料微細(xì)加工及樣品制備。 主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:材料/珠寶首飾電子/信息...
上海楊浦區(qū)
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主要技術(shù)指標(biāo):加速電壓0.5-30kv,15kv分辨率1.0nm。 功能/應(yīng)用范圍:材料及微電子、光電子器件微區(qū)形貌觀察及組份分析。 主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:材料/珠寶首飾電子/信息...
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主要技術(shù)指標(biāo):分辨率125。 功能/應(yīng)用范圍:鈹以上元素定性分析。 主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:材料/珠寶首飾電子/信息技術(shù) 收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn):按樣品、小時(shí)數(shù)收費(fèi) 儀...
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主要技術(shù)指標(biāo):真空度<1e-6mBar,薄膜淀積速率1~10nm/min 功能/應(yīng)用范圍:離子束濺射,可用于金屬薄膜淀積和樣品物理刻蝕 主要測(cè)試和研究領(lǐng)域...
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主要技術(shù)指標(biāo):重復(fù)頻率1KHz,單脈沖能量600微焦耳,脈沖寬度50fs 功能/應(yīng)用范圍:超快光譜學(xué)、非線性光學(xué) 主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:電子/信息技術(shù) 收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn):其它收...
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主要技術(shù)指標(biāo):8寸 功能/應(yīng)用范圍:拋光硅片 主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:電子/信息技術(shù) 收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn):其它收費(fèi)方式 ...
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主要技術(shù)指標(biāo):1.真空腔尺寸:Φ1100×12002.極限真空度:2×10-4Pa3.坩堝容積:2×1000ml3.電子槍功率:10kW 功能/應(yīng)用范圍:可用于氧化物等薄...
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主要技術(shù)指標(biāo): *dc-4.1GHz頻率覆蓋,具有36MHz分析帶寬 *靈活的解調(diào),對(duì)許多標(biāo)準(zhǔn)制式的單鍵設(shè)置 *Agilent獨(dú)特的差錯(cuò)分析特性,包括隨時(shí)間變化的EVM,隨時(shí)間變化的相...
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主要技術(shù)指標(biāo):1、Loadlock預(yù)抽真空;2、本底真空:2*10e-8Torr;3、基板加熱,0-400度;4、基板旋轉(zhuǎn)速度可調(diào),1-20rpm;5、三路氣體,可反應(yīng)濺射;6、五個(gè)2英寸濺射槍,和一個(gè)3...
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主要技術(shù)指標(biāo):電流精度10fA電容高頻1MHz 功能/應(yīng)用范圍:用于半導(dǎo)體器件的電學(xué)(IV、CV)特性測(cè)試 主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:電子/信息技術(shù) ...
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主要技術(shù)指標(biāo):AFM噪聲水平0.3,可對(duì)云母、石墨原子像成像控制器反饋相應(yīng)時(shí)間:2s,采樣率50MHZ掃描范圍:0.4μm×0.4μm×0.4μm或10μm×10μm×2...
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主要技術(shù)指標(biāo):樣品尺寸為4寸硅片濺射室極限真空優(yōu)于1.210-6Pa,進(jìn)樣室(loadlock)真空優(yōu)于6.710-4Pa淀積薄膜厚度均勻性優(yōu)于3%襯底可加熱,溫度最高可達(dá)800oC 功能/應(yīng)用范...
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主要技術(shù)指標(biāo):極限真空:成膜室1.210-6Pa(loadlock)準(zhǔn)備室6.710-4Pa樣品尺寸:4寸(1片/次)可通3路氣體:Ar、N2、O2(50sccm)。可做普通濺射、共濺射和反應(yīng)濺射,可對(duì)樣...
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主要技術(shù)指標(biāo):數(shù)字通道:16路P1000數(shù)字通道;128路C400e數(shù)字通道;80路C200e數(shù)字通道模擬通道:一塊AV8,含四路24bit音頻DAC/ADC模塊,四路14bit視頻DAC/ADC模塊一塊WGD,500MspsAW...
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主要技術(shù)指標(biāo):納米壓痕試驗(yàn)縱向載荷力和位移可實(shí)現(xiàn)的最大載荷:10mN位移分辨率:0.0004nm可實(shí)現(xiàn)的最大位移:5μm2納米劃痕試驗(yàn)橫向載荷力和位移可實(shí)現(xiàn)的最小橫向力:<5μN...
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主要技術(shù)指標(biāo):分辨率10X10納米Multimode8型 功能/應(yīng)用范圍:納米材料表面形貌、納米薄膜粗糙度研究,納米材料粒徑測(cè)量、納米復(fù)合材料相組成研究及復(fù)合材料界面研究...
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主要技術(shù)指標(biāo):最大磁場(chǎng)15T,最低溫度300mK 功能/應(yīng)用范圍:低溫時(shí)測(cè)量樣品在磁場(chǎng)下電學(xué)輸運(yùn)性質(zhì) 技術(shù)特色:垂直樣品的磁場(chǎng)能達(dá)到15T,測(cè)量噪聲低 ...
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主要技術(shù)指標(biāo):電子槍功率3kW,本底真空10E-9Torr,6寸旋轉(zhuǎn)樣品托(可液氮冷卻),坩堝5*2.24cc 功能/應(yīng)用范圍:蒸鍍各種金屬薄膜 主要測(cè)試和研究領(lǐng)域:電子/信息技...
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