紙漿實驗機

　　研究領域：生命科學(生物醫學、醫藥）

湖北工業大學

電感耦合等離子體反應離子刻蝕機

主要技術指標蝕刻反應室抽氣速率：真空度<5.0×10^-5Torr(15分鐘內)；蝕刻反應室極限真空：8.0×10^-6Torr；裝載室抽氣速率：真空度<5.0×10^-2Torr(5分鐘內)；蝕...

中山大學

通用電化學系統

主要技術指標滿度電流量程：2A到200nA輸出電壓:>±30V參考電極輸入阻抗：>10GΩ，電容50pF直流極化電壓范圍：±14.5V電流范圍：±2A，最大分辨率100...

中山大學

微波等離子體化學氣相沉積系統

主要技術指標功率發生器2kW，2.45GHz；質量流量計10,30,50sccm；系統真空度優于1.0×10-6Torr；保壓12小時后真空度優于1.0×10-1Pa主要功能最大沉底加熱溫度900℃...

中山大學

原位X-射線物質結構分析儀

　　主要技術指標：X射線發生器：最大輸出功率：3kW，光管功率：2kW；最大管壓：50kV；最大管流：60mA。測角儀：采用光學編碼器技術；測角儀半徑：185~285mm可調；轉動范圍：-110...

復旦大學先進材料實驗室

磁控濺射系統

　　主要技術指標：真空度達1X10-6乇，襯底溫度可達100度直流濺射電源功率1000瓦　　功能/應用范圍：有2個DC濺射靶，可以在真空狀態下濺射生成一類材料薄膜或多層不同薄膜，...

復旦大學材料科學系

雙束聚焦離子束系統

　　主要技術指標：離子束：30kv分辨率7nm，加速電壓2-30kv。電子束：鎢燈絲電子槍　　功能/應用范圍：材料微細加工及樣品制備。　　主要測試和研究領域：材料/珠寶首飾電子/信息...

復旦大學材料科學系

濺射鍍膜系統

　　主要技術指標：1)Chambersize:600*750*620mm2)Ultimatepressure:8.0*10-7mbar3)3*4"Magnetrons(2*DC&1*rf)4)Co-sputteringprocess5)targetdiameter:100mm...

復旦大學信息科學與工程學院