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在線油液監(jiān)測技術是國內(nèi)外潤滑磨損狀態(tài)監(jiān)測與故障診斷技術的重要研究與發(fā)展方向之一,是為了解決現(xiàn)代企業(yè)大型連續(xù)作業(yè)裝備、關鍵裝備和安全性要求較高的裝備的實時、連續(xù)監(jiān)測和診斷問題...
廣東;上海;北京
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主要技術指標蝕刻反應室抽氣速率:真空度<5.0×10^-5Torr(15分鐘內(nèi));蝕刻反應室極限真空:8.0×10^-6Torr;裝載室抽氣速率:真空度<5.0×10^-2Torr(5分鐘內(nèi));蝕...
廣東廣州市
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