檢測認證人脈交流通訊錄
FB7008D型多功能等離子體實驗儀(濺射鍍膜等離子裝置)
- 本裝置由本公司與浙江大學共同研制。
鍍膜原理為真空濺射離子、電子飛速運動,放電離子飛速轟擊機臺靶面,濺擊大量(銀、銅等)介質,原子逐步沉積到基片襯底表面成膜。
實驗內容:
●不同金屬材料薄膜制備;
●利用空陰極放電制備了CU和Ag涂層研究空陰極對薄膜結構;
●在光學材料上薄膜的制備及特性的測量的影響;
●研究離子轟擊對膜性質的影響。
技術參數:
●真空系統:旋片式真空泵,單相220V;
●工作氣壓:10~200Pa;
●工作電壓:0~1500V可調,工作電流0~200mA可測量;
●基臺加熱控溫系統室溫200度;
●濺射鍍膜鐘罩直徑140mm,高度150mm;
●基臺可升降,可調范圍:10~50mm;
●儀器配有鍍膜片,另配顯微鏡、清洗機。