檢測認證人脈交流通訊錄
德國普發Pfeiffer渦輪分子泵Hipace 1000-2000 l/s
- 主要規格：
- 德國普發Pfeiffer渦輪分子泵Hipace 1000-2000 l/s
- 用 途：
- 1. 半導體生產 2. 真空爐 3. 質譜分析 4. 研發及化工行業 5. 玻璃及刀具鍍膜
- 分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 產品優點：
1. 四種抽速，抽速為自1,000 至 2,000 l/s
2. 對于分子量較小氣體以及分子量較大氣體的高抽速
3. 適用各種工藝如刻蝕, 濺鍍, 要求，耐粉塵
4. 高氣流量，即使對于分子量較大的氣體
5. 集成的 TC 1200 驅動單元，可直接連接一般電源
6. 支援腐蝕氣體
7. 帶節氣閥門的集成密封氣體系統
8. 標準接口界面：RS-485 以及遠程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供選擇
9. 符合 IP 54 防護標準，適用于工業應用環境
10. 符合 Semi S2 規范
11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 認證
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 適用領域：
1. 半導體生產 2. 真空爐 3. 質譜分析 4. 研發及化工行業 5. 玻璃及刀具鍍膜
產品規格：
型號
連接尺寸 DN
抽速 l/s
壓縮比
最高啟動壓強mbar
冷卻方式
啟動時間
重量
進氣口
出氣口
氮氣N2
氦氣He
氫氣 H2
氮氣 N2
氮氣N2
min
kg
HiPaceTM 1200
200
40
1,250
1,300
1,100
>108
2
水冷
2.5
40
HiPaceTM 1500
250
40
1,450
1,350
1,150
>108
2
水冷
2.5
41
HiPaceTM 1800
200
40
1,450
1,650
1,700
>108
1.8
水冷
4
34
HiPaceTM 2300
250
40
1,900
2,050
1,850
>108
1.8
水冷
4
37
伯東企業上海有限公司真空產品事業部
張婷婷
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