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等離子干法刻蝕機PI01

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    • 功能 適用于太陽能電池制程,對太陽能矽晶片之邊緣做刻蝕 特點 .專利設計之特殊等離子電極 .高密度等離子源 .處理速度快,產能高,可靠度高 .操作范圍廣 .全自動且容易操作 .設備穩定度高,容易維護 .可依客戶需求作更改 應用產業 .太陽能電池 .太陽能矽晶片邊緣做刻蝕
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    梁雅娟

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