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甲烷

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  • 高純甲烷燃燒用于制造特種質量電子器件用的炭黑。用于非晶硅太陽電池制造。最近用作大規模集成電路干法刻蝕或等離子刻蝕氣的輔助添加氣。
    • Methane甲烷 (CH4) Vapor Phase Impurities 氣相雜質 Contaminants 雜質 Specifications (ppm) 規格 5N 4.5N 4N 3N C2H6 Ethane乙烷 <1 <15 <25 <600 O2 Oxygen氧氣 <2 <5 <10 <50 N2 Nitrogen氮氣 <7 <15 <35 <250 H2 Hydrogen氫氣 — <5 <10 <50 H2O Moisture水 <2 <5 <15 <50

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