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蝕刻混合氣

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  • 蝕刻

    • 材質 蝕刻氣體 "  鋁（Al）   鉻（Cr）   鉬（Mo）   鉑（Pr）   聚硅   硅（Si）   鎢（W）" "  氯硅烷（SiCl4）+四氯化碳（CCl4）+（氬、氮）   四氯化碳（CCl4）+氧、四氯化碳（CCl4）+空氣   二氟二氯化碳（CCl2F2）+氧、四氟化碳（CF4）+氧   三氟三氯乙烷（C2Cl3F3）+氧、四氟化碳（CF4）+氧   四氟化碳（CF4）+氧、乙烷（C2H6）+氯   四氟化碳（CF4）+氧   四氟化碳（CF4）+氧"


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