99.9999% Vapor Phase Impurities 氣相雜質 Contaminants 雜質 Specifications (ppmv) 規格 O2 Oxygen氧氣 <0.2 N2 Nitrogen氮氣 <0.2 H2 Hydrogen氫氣 <0.1 THC Total Hydrocarbon碳氫化合物 <0.2 H2O Moisture水 <0.2">
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