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無(wú)塵潔凈烤箱

應(yīng)用 LCD、CMOS、IC制程烘烤特點(diǎn) 1.內(nèi)、中桶材質(zhì)采用SUS304＃無(wú)磁性鏡面不銹鋼，外膛采用 SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE) 2.全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生PARTICLE 3.耐高溫濕日制HEPA FILTER(99.99%)，能有效過(guò)濾微塵而達(dá)到潔凈等級(jí)class100＃。規(guī)　格　表型　　號(hào) AHK-2 AHK-3 AHK-4 AHK-5 工作空間 600/500/600 600/500/900(2箱獨(dú)立) 700/1100/1000 1000/600/1000 外尺寸 W/D/H ㎜ 1060/1240/1550 1060/1240/1850 1270/1555/1830 1820/920/1950 電力 KVA 7.5 9 12 12 溫度范圍 60~200℃(300℃) 溫度系統(tǒng) Input: CA Sensor Output: SSR 均勻度 ±1.5%(空載測(cè)試) 進(jìn) 氣量 N2 或 Clean Air MAX: 25 l/min 進(jìn) 氣口￠6㎜￠6㎜￠6㎜￠12㎜排氣口￠3 ¨自動(dòng)風(fēng)門(mén) ￠5¨自動(dòng)風(fēng)門(mén) 潔凈度 Class100#, FED-STD-2099潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) 內(nèi)箱材質(zhì) SUS304＃鏡面不銹鋼外箱材質(zhì) SST41＃鋼板經(jīng)防銹處理后高溫粉體烤漆電　熱 (SHEATHED HEATER)無(wú)塵化電熱發(fā)生器配　備 HEPA Filter 、壓差計(jì)、流量計(jì)

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陳利