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壓電物鏡驅動器

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    • 應用:  掃描干涉  表面結構分析  光盤驅動測試  自動聚焦系統  聚焦微掃系統  生物科技  半導體測試設備 壓電物鏡驅動器XP-721/722是高速壓電驅動微掃納米聚焦/掃描裝置,定位和掃描范圍大約為100μm,納米級分辨率以及非常高的線性度。應用主要為表面度量以及微掃描。這種無摩擦柔性鉸鏈導向系統提供了超強的精度以及很高的聚焦能力,快速響應,快速穩定,快速掃描。

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