ZYFB-1200復(fù)合分子泵機(jī)組
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi)((10-6～1Pa)具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國Acate公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜*承和動(dòng)密封的復(fù)合分子泵，可以做到*無油，且不用前級(jí)泵直接向大氣中排氣。
分類
這種泵具體可分為：
1)牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。
2)渦輪分子泵靠高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
3)復(fù)合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來的一種復(fù)合型的分子真空泵。
工作條件
（1）轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到20000r/min，故分子泵啟動(dòng)時(shí)間較長。
（2）氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級(jí)泵，一般使用旋片泵作為前級(jí)泵。
ZYFB-1200復(fù)合分子泵
設(shè)計(jì)要點(diǎn)
在復(fù)合分子泵的設(shè)計(jì)中，必須處理好渦輪級(jí)與牽引級(jí)之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)轉(zhuǎn)換處加上過渡級(jí)結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。
隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn)，其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。
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