檢測認證人脈交流通訊錄
- HarrickPlasma等離子清洗機真空泵PDC-OPE-2產品特點:
1、采用獨立馬達與軸承的密封設計;
2、系統運行穩定,低噪聲、低振動、低泄漏;
3、與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的極限壓強;
4、無任何可能造成災害性系統故障的機械部件;
5、外型尺寸:351x181x140mm
6、電源系統:電壓 200 ~ 220 VAC (50/60 Hz)
7、適用于小型等離子體設備把氧氣作為工藝氣體環境;
Harrick Plasma等離子清洗機真空泵PDC-OPE-2技術參數:
抽速50Hz, 50 l/m, 3 m 3 /hr, 1.8cfm
極限壓強2.5X10 -1 torr/3.3X10 -1 mbar
進氣口最大壓強1 個大氣壓/0PSI
出氣口最大壓強1.4 個大氣壓 6.5PSI
進氣口法蘭NW16KF 法蘭
出氣口法蘭1/4NDP
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