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檢測認證人脈交流通訊錄
- 在很多純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業和純氣體應用的低位變送器。
亮點
測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
測量穩定，重復性好
集成的采樣裝置
模擬和數字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設計緊湊小巧
顯示/報警單元可選
Pura
技術指標
傳感器
傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力 低 10-9 torr; 大 24 MPa
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源 通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)
大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 上限; 4 mA = 下限
機械性能
傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra μm 電鍍內拋光
氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 不需要預留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作
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