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檢測認證人脈交流通訊錄

LASERTEC 晶圓凸點檢測測量裝置 BIM300

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  • 品　　牌：
  • LASERTEC
  • 主要規格：
  • コンフォーカル光學系による高さ、幅、形狀の高精度測定が可能 インライン自動3D測定を実現 CD-SEM等では得られない広視野での高解像度観察が可能
  • 用　　途：
  • TSVプロセスにおけるバンプの高さ、幅、形狀の測定と検査 貼り合わせウェハ薄化後の外周部の観察?検査と、薄化プロセスの條件最適化?管理 ウェハ表面の異物、研磨痕などの観察?測定
    • 特長 コンフォーカル光學系による高さ、幅、形狀の高精度測定が可能 インライン自動3D測定を実現 CD-SEM等では得られない広視野での高解像度観察が可能 用途 TSVプロセスにおけるバンプの高さ、幅、形狀の測定と検査 貼り合わせウェハ薄化後の外周部の観察?検査と、薄化プロセスの條件最適化?管理 ウェハ表面の異物、研磨痕などの観察?測定 仕様 裝置本體サイズ 約1450mm（W）× 2800mm（D）× 2100mm（H） 検査対象ウェハ 最大300mmウェハ

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