檢測認證人脈交流通訊錄
LASERTEC 晶圓邊緣檢查設備 EZ300
- 主要規格：
- コンフォーカル光學系による高コントラスト畫像を用いた欠陥検査 獨自のアルゴリズムによる凹凸判定を含めた自動欠陥分類 欠陥種の特定?推測が容易となる、高解像度3D測定機能
- 用 途：
- インラインQCによるウェハ外周部の定量管理及び異常プロセス発生時の早期アラーム SPC（Statistical Process Control）によるウェハ外周部の不良チップ発生時の後追い解析 ウェハ外周部の欠陥による、歩留まり悪化原因の把握?解析
- 特長
コンフォーカル光學系による高コントラスト畫像を用いた欠陥検査
獨自のアルゴリズムによる凹凸判定を含めた自動欠陥分類
欠陥種の特定?推測が容易となる、高解像度3D測定機能
用途
インラインQCによるウェハ外周部の定量管理及び異常プロセス発生時の早期アラーム
SPC（Statistical Process Control）によるウェハ外周部の不良チップ発生時の後追い解析
ウェハ外周部の欠陥による、歩留まり悪化原因の把握?解析
深圳京都玉崎株式會社
- 地址：
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