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    檢測行業中常見有以下幾種膜厚測試方法:金相測厚,熒光測厚,SEM測厚,XPS深度剖析,臺階測厚等等。 
    各方法適用范圍與特點如下: 
    1,金相測厚。使用設備為金相顯微鏡。此方法適用于測量厚度>1μm的金屬膜層,可同時測量多層。被測樣品需要經垂直于待測膜層取樣進行金相制樣,再在金相顯微鏡下觀察并拍照測量待測膜層厚度。 

    2,SEM測厚。使用設備為掃描電子顯微鏡(SEM)。此方法測試范圍寬,適用于測量厚度0.01μm~1mm的金屬或非金屬膜層。樣品前處理與金相測厚相同。配有能譜附件(EDS)的SEM設備可以確定每一層膜層的成分。 
    庫侖法: 
    適 合測量單層和多層金屬覆蓋層厚度陽極溶解庫侖法,包括測量多層體系,如Cu/Ni/Cr以及合金覆蓋層和合金化擴散層的厚度。不僅可以測量平面試樣的覆蓋 層厚度,還可以測量圓柱形和線材的覆蓋層厚度,尤其適合測量多層鎳鍍層的金屬及其電位差。測量鍍層的種類為Au,Ag,Zn,Cu,Ni,dNi,Cr。 
    X-ray 方法: 
    適用于測定電鍍及電子線路板等行業需要分析的金屬覆蓋層厚度。 包括:金(Au),銀(Ag),錫(Sn),銅(Cu),鎳(Ni),鉻(Cr)等金屬元素厚度。 
    本測量方法可同時測量三層覆蓋層體系,或同時測量三層組分的厚度和成分 

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