電子束蒸發設備
主要技術指標:1)系統極限真空:經24小時燒烤,連續抽氣,可達3*10^-5Pa,系統由大氣后開始抽氣,40分鐘可達3*10^-4Pa;2)系統漏率:停泵關機12小時后真空度=<10Pa;3)樣品加熱溫度:室...
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