新一代Orbis聚焦型掃描X-射線熒光能譜儀也稱熒光探針,采用聚焦X射線照射,光路系統(tǒng)采用正置式,可在大氣壓力或低真空環(huán)境下檢測樣品。該儀器可進(jìn)行視頻圖象采集和圖象拼接,微區(qū)及整體成分的定性定量分析,以及線、面元素的分布分析,檢測極限為ppm級。
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