檢測認證人脈交流通訊錄
- 硅烷
A colorless,flammable,high pressure gas.(一種無色,易燃,高壓氣體)
Formula（分子式）: SiH4
Molecular weight(分子量)： 32.12
Boiling point(沸點): -111.5℃,-168.7°F;
Melting point(融點): -185℃,-301°F.
Vapor Pressure(蒸汽壓): 8274Kpa(21.1℃);1200Psia(70°F)
Specific Volume(比容)： 0.755m3/kg(21.1℃,101.325KPa)
12.1ft3/lb(70°F,14.696psia)
Lower Flammable Limit(最低可燃性含量)： 0.8％
Upper Flammable Limit(最高可燃性含量)： 98％
Threshold Limit Value(人體的最高容許濃度)： 0.5ppm
UN Number(UN號碼)： UN2203
DOT Classification(DOT類別)： 2.1(Flammable Gas)(可燃性氣體)
DOT Label(DOT標簽)： FLAMMABLE GAS(可燃性氣體)
Cylinder Connection(鋼瓶接口)： CGA/DISS/JIS--350/632/W22-14L
Grsde(級別) 6N
Purity(純度) 99.9999％
Guaranteed Specification(保證規格)
Impurity(非組分) Specification(標準)
Oxygen(氧)+Argon(氬) ≤0.06 ppmv
Nitrogen(氮) ≤0.5 ppmv
Carbon Dioxide(二氧化碳) ≤0.05 ppmv
Carbon Monoxide(一氧化碳) ≤0.05 ppmv
Helium(氦) ≤1 ppmv
Water(水) ≤0.1 ppmv
Hydrogen(氫) ≤20 ppmv
Disilane(乙硅烷) ≤0.5 ppmv
Disiloxane(二甲硅醚) ≤0.05 ppmv
C2-C4(碳2--碳4) ≤0.1 ppmv
Methane(甲烷) ≤0.05 ppmv
Total Chlorosilanes(總氯硅烷) ≤0.1 ppmv
Cylinder Size(liter)鋼瓶體積(升) Content(Kg,lbs)氣含量(公斤,磅)
43.8 12,26.4
上海德倫氣體設備有限公司
鄭溪松/張宇
- 地址：
- 上海市閔行區申南路59號泰弘研發園7號樓308室
