真空紫外氘燈可以傳輸波長至 115 納米的深短波紫外線光。光譜范圍從 110 到 350 納米,
在 120 和 160 納米之間強度特別高。
真空紫外氘燈的應用
高壓液體色譜分析儀(HPLC)
高分辨率光學(比如在質檢時)
半導體曝光
硅片表面的清潔
將高光能量用于光化學過程
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