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國家有色金屬及電子材料分析測試中心

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多晶硅檢測

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    • 國家有色金屬及電子材料分析測試中心從事硅和化合物半導體材料檢測，可一次完成硅片厚度、總厚度變化、平整度、局部平整度、翹曲度、類型、電阻率的測試和分類，并可作圖；可進行硅拋光片和外延片的表面質量分析檢測，包括顆粒尺寸及數量的分類；劃傷、桔皮、凹坑等表面質量的檢查；利用X射線熒光光譜方法對硅拋光片和外延片的表面金屬進行非破壞性檢測；紅外氧碳測試儀是用紅外吸收法分別測定硅單晶中的間隙氧和替位碳含量，并可計算外延片的外延層厚度。 中心擁有美國Thermo Fisher公司最新型號的Element GD輝光放電質譜儀(GDMS)，適用于金屬中ppb級及其以上含量的雜質分析，可以檢測5N、6N高純鋁、銅、鋅、鎳、鈷、多晶硅中的痕量和超痕量雜質元素。
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    王玉俠

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