檢測認證人脈交流通訊錄
高純氦
- 用 途：
- 生成鍺和硅晶體的保護氣，某些混合氣的底氣，清洗、屏蔽和加壓系統的惰性氣體，氣相色譜 載氣，焊接保護氣，充氦飛船；
- 氣體名稱 化學式 規格（%） 雜質（ppm）
氦氣 He 99.995 TCH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H2O≤10
99.999 O2≤1 TCH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤1
99.9995 O2≤0.5 TCH4≤0.1 CO2≤0.2 Ne≤1 H2≤0.1 CO≤0.1 H2O≤1
