99.5% Vapor Phase Impurities 氣相雜質 Contaminants 雜質 Specifications (ppm) 規(guī)格 O2 Oxygen氬氣 <25 H2O Moisture水 <10 Other HC Other Hydrocarbons其它碳氫化合物 <4000 CO+ CO2 Carbon Monoxide一氧化碳+ Carbon Dioxide二氧化碳 <30 N2 Nitrogen氮氣 <100">
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