上海百科安全設備有限公司

IN-2000臭氧分析儀

IN-2000型雙光路高精度紫外臭氧分析儀本產品是同類產品中的高精確度高品質臭氧分析儀，它目前主要用于半導體、芯片、CVD，ALD等領域。由于它優異的品質，使得它成為那些需要長時期、高穩定地提供連續測量和工藝控制的客戶的正確選擇，長期使用的所有者成本低。是監測氣體發生設備、氣柜、氣體輸送系統以及半導體設備的臭氧濃度的理想選擇。也可用于環境監測、職業衛生和科學研究。主要特點：微機控制 • 紫外吸收技術可訂購多達5個取樣點壓力和溫度補償能力內置現場編程，可編次序 • 定光學系統每通道4-20mA隔離輸出 • 每通道雙報警主要技術規格  取樣點數量：1，3或5個內置式多通道閥  量程：0-1ppm，0-10ppm，0-100ppm, 或 0-1000ppm可選。  精度等級：5ppb(0-1ppm量程)，0.01ppm(0-10ppm量程)，0.1ppm(0-100ppm量程)，  分辨率高：0.001ppm(0-1PPM)，0.01ppm(0-10PPM)  流量：內置泵，流量可調（不大于2L/m）  輸出：模擬4～20mA，以及數字輸出  CE認證；內部自；RS-232通訊接口

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王秀