檢測認證人脈交流通訊錄
- DT-0XP系列
動態配氣儀
多功能動態配氣儀采用質量流量混合法原理,是一種將高濃度的標準氣體經過混合稀釋成為低濃度的樣品氣體的專業設備,廣泛用于脫硫脫硝設備、CVD氣象沉積設備、分析儀器檢測等各種需要配氣輸出的下游設備。
動態配氣儀分為:氣路裝置與控制儀,兩部分組成。
氣路裝置如上圖所示,型號分為2路,3路,4路等規格。每路均含有一臺質量流量控制器為核心控制單元。
控制儀如下圖所示:
型號分為:2路,3路,4路,與上述氣路裝置組合使用。
除標準產品外,也可根據您的需要定制非標產品,如下圖。
訂貨型號說明:
舉例:
DT-02P-100sccm N2-200sccm O2-6mm-6mm
說明:
2路動態配氣儀;第一路:100sccm N2。第二路:200sccm O2;進氣接口6mm雙卡套,出氣接口6mm雙卡套
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