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XP-853壓電驅動測微頭

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    • XP-853是將微米千分尺與高分辨率壓電致動器結合的壓電驅動微米千分尺，通過手動調節大范圍的微米尺，行程范圍為13mm, 微米尺的分辨率是1μm，再通過控制驅動電壓使壓電陶瓷相應伸長，縮短到預定位置，從而實現對壓電陶瓷進行高精度的細調節，行程范圍可達25μm, 壓電陶瓷運動的分辨率可達亞納米量級，這個壓電微米千分尺可以對元件的進行遠距離精密定位。

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