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廣東省湛江機械廠

檢測認證人脈交流通訊錄

普發(fā)渦輪分子泵

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品?
  • 品  牌:
  • 主要規(guī)格:
  • 用  途:
    • OSAKA磁懸浮分子泵TGkine-R系列產(chǎn)品型號:

      TGkine2200M-R、TGkine3300M-R / TGkine3400M-R、TGkine3800M-R / TGkine4200M-R

      產(chǎn)品特點:

      ■ 省電設計     
      ■ 在真空泵本體中,可存儲設置參數(shù),運轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。 
      ※即使在維護階段更換控制器,也可實現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。     
      ■ 支持多種通信接口規(guī)格 (兼容EtherCAT通信協(xié)定)     
      ■ 適用于國際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2

      使用場合:

      ■ 半導體制造設備
      ■ FPD制造設備
      ■ 太陽能電池制造設備
      ■ 玻璃/鏡片等光學部件加工
      ■ 鍍膜工藝
      ■ 加速器/宇宙環(huán)境模擬器

      技術(shù)參數(shù):

      型號※1

      TGkine3300M-R

      TGkine3400M-R

      吸氣口法蘭

      VG300 / ISO-B320

      VG350

      排氣口法蘭※2

      KF40 / KF50

      排気速度

      N2 (L/s)

      3300

      N(付帶金屬保護網(wǎng)) (L/s)

      3100

      H2 (L/s)

      2700

      最大壓縮比

      N2

      >1×108

      H2

      3×103

      最大氣體流量※3、※4

      N2 (sccm)

      2600

      Ar (sccm)

      1900

      起動時間

      (min)

      ≦11

      停止時間

      (min)

      ≦13

      到達壓力※5

      (Pa)

      <2×10-7

      (Torr)

      <1.5×10-9

      最大排氣口壓力※6

      (Pa)

      110

      (Torr)

      0.82

      推薦前級泵

      (L/min)

      ≧2000

      安裝方向

      任意

      質(zhì)量

      (kg)

      64 / 65

      67

       

      更多訪問:

      http://www.shycsm.net/Products-37038994.html
      https://www.chem17.com/st519780/erlist_2368397.html   


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