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RIE反應(yīng)離子刻蝕機

  • 這真不是您需要的產(chǎn)品？
  • 品　　牌：
  • 主要規(guī)格：
  • 用　　途：
    • 　　RIE反應(yīng)離子刻蝕機采用 RIE 反應(yīng)離子誘導(dǎo)激發(fā)方式，實現(xiàn)對材料表面各向異性的微結(jié)構(gòu)刻蝕。特別適合于大學(xué)、科研院所，微電子、半導(dǎo)體企業(yè)實驗室進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕等方面研究。使用成本低，性價比高，易維護，處理快速高效。RIE反應(yīng)離子刻蝕機適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形進(jìn)行 RIE 反應(yīng)離子刻蝕。 　　具體包括： 　　◆ 介電材料（SiO2、SiNx 等） 　　◆ 硅基材料（Si，a-Si，poly Si） 　　◆III-V 材料（GaAs、InP、GaN 等） 　　◆ 濺射金屬（Au、Pt、Ti、Ta、W 等） 　　◆ 類金剛石（DLC） 　　應(yīng)用領(lǐng)域： 　　RIE反應(yīng)離子刻蝕機主要用于微電子芯片、太陽能電池、生物芯片、顯示器、光學(xué)、通訊等領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造。 　　產(chǎn)品特點 　　◆7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲追溯。 　　◆PLC 工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。 　　◆真空艙體、全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無污染。 　　◆采用防腐數(shù)字流量計，實現(xiàn)對氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)， 可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)， 可輸入氧氣、氬氣、 氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體。 　　RIE反應(yīng)離子刻蝕機 　　http://www.plasmacleaning.cn/Products-38022965.html

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