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Phenom Pro電鏡能譜一體機同時具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分析。原飛利浦*科學家 Karel.Mast 教授攜手荷蘭飛納公司，*將電鏡和能譜在生產環節集成在一臺設備中，后期通過一個軟件平臺控制操作，用戶只需要熟悉一個軟件就能同時操控兩項功能，也變得相對簡 單快速。
Phenom Pro電鏡能譜一體榮獲 2012 年新產品獎，是掃描電鏡能譜行業的一個里程碑。亮度 10 倍于鎢燈絲 CeB6 燈絲不僅使 Phenom Pro電鏡能譜一體機提供高分辨率，同時也使得表面元素分析更加準確快速。背散射電子圖像用不同的灰度呈現出不同的元素，Phenom Pro配備的 SDD 射線探頭，定性半定量探測 5-95 號元素的點、線、面分布。
Phenom Pro電鏡能譜一體機具有飛納系列全自動操作、15 秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3 年更換燈絲等特點，無需防震環境，可放置在任意樓層，能譜無外接部件，無需液氮冷卻。
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