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川田機電銷售有限公司

檢測認證人脈交流通訊錄

XP-703D 半導體特氣檢漏儀

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  • 品　　牌：
  • 主要規格：
  • 用　　途：
    • 特點：
        A:最適用于半導體材料氣體的超微量泄漏檢測
        B:通過報警燈及蜂鳴器即可得知氣體泄漏
        規格：

      型號

      XP-703D

      檢測對象氣體

      半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

      檢測原理

      熱線型半導體式

      采樣方式

      自動吸引式

      可檢測濃度
      （單位：ppm）

      砷烷    磷烷    乙硼烷    硅烷    氫氣
      AsH3    PH3     B2H6     SiH4    H2
      0.2     0.3      0.1     0.5     1.0

      檢測表示

      蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍

      應答速度

      10 秒以內


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