單晶硅片厚度檢測(cè)儀器適用于量程范圍內(nèi)的塑料薄膜、薄片、隔膜、紙張、箔片、硅片等各種材料的厚度精確測(cè)量。儀器符合GB/T 6672、GB/T 451.3、GB/T 6547、ASTM D645、ASTM D374等多項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)。
單晶硅片厚度檢測(cè)儀器技術(shù)指標(biāo):
測(cè)量范圍:0~2mm
0~6mm;12mm(可選)
分 辨 率:0.1μm
測(cè)量壓力:17.5±1kPa(薄膜);50±1kPa(紙張)
接觸面積:50mm2(薄膜);200mm2(紙張)
注:薄膜、紙張任選一種;非標(biāo)可定制
進(jìn)樣步距:0~1000mm
進(jìn)樣速度:0.1~99.9mm/s
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