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美國AALBORG質量流量計

美國AALBORG質量流量計 Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的氣體質量流量計/控制器的生產廠家，其產品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、材料科學、石油化工、醫藥、環保等領域。產品特點：性價比高、響應速度快、可靠性高，易于集成、環路保護、備總量計數器典型應用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。設計特點：－剛性金屬結構－流程范圍從0開始到10 sccm直到0到1000slpm －最大壓力500psig（34.5Bar）－泄漏率1＊10-7氦氣－NIST系統標定可追蹤的證明－可傾斜的LCD讀表－0-5Vdc或4-20m A信號輸出－電路保護－可用作便攜式的設備－0到100％比例顯示－可配備流量計算機精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（1 5℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（標定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。重復性：±0.5％滿量程回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒溫度系數： 0.15％滿量程／℃ 壓力系數：0.01％滿量程／psi（0.07bar）氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）輸出信號：0-5Vdc，最小 1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻傳感器輸出：＋12Vdc；最大200Ω。

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