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1、SEM可對樣品表面進行形貌觀察。
2、SEM放大測試位置可以對鍍層厚度進行測量，對粒子尺寸進行測量。
3、異物分析：掃描電子顯微鏡（SEM）可放大測試區域，再用EDS對材料表面進行元素分析，尤其是異物分析。
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