SEMI E78-0912 GUIDE TO ASSESS AND CONTROL ELECTROSTATIC DISCHARGE (ESD) AND ELECTROSTATIC ATTRACTION (ESA) FOR EQUIPMENT

1. 靜電產生的主要原因

• 接觸分離
• 摩擦起電
• 感應起電

2. 靜電的危害

    靜電具有一定的隱秘性、積累性、復雜性和隨機性，當靜電現象發生時，靜電會在半導體設備和器件中隱藏存在，隨著工作時間的延長、工作量的增多，靜電量會越積越多，進而加劇灰塵的依附性，長久以往，會降低設備的使用壽命。靜電放電后，會對器件產生強烈的電攻擊，被電擊后的器件如果不進行及時的修復，可能導致器件的永久傷害。

    半導體制造工廠，存在易燃化學品，靜電放電后，會導致靜電作為起火源，引起化學品的燃燒甚至爆炸發生。

欣項科技在SEMI 認證領域擁有十余年豐富的認證經驗，能為您提供業界公認的半導體設備測試、評估報告以及文件審查服務。更為重要的是，欣項科技具有獨立的第三方實驗室認可資質，如美國權威實驗室認可機構A2LA，中國實驗室認可組織CNAS，國際半導體協會SEMI，直接具有對SEMI 標準的授權及認可，讓你的認證放心無憂。

如希望Safeslab欣項科技提供SEMI S2/ F47/ S10/ S6/ E78等服務，請與我們聯系。