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    隨著半導體工業、精細化工和光電纖維工業的發展,產生了對高純氫的需求。例如,半導體生產工藝需要使用99.999%以上的高純氫。但是工業上各種制氫方法所得到的氫氣純度不高,為滿足工業上對各種高純氫的需求,必須對氫氣進行進一步的純化。氫氣的純化方法大致可分為兩類(物理法和化學法), 氫氣提純方法主要有低溫吸附法,低溫液化法,金屬氫化物氫凈化法;此外還有鈀膜擴散法,中空纖維膜擴散法和變壓吸附法等六種方法。


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