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氬氣是目前工業上應用很廣的稀有氣體它的性質十分不活潑,既不能燃燒,也不助燃在飛機制造造船原子能工業和機械工業部門,對特殊金屬,例如鋁鎂銅及其合金和不銹鋼在焊接時,往往用氬作為焊接保護氣,防止焊接件被空氣氧化或氮化氬氣主要用途:用于焊接不銹鋼制造冶煉,還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積晶體生長熱氧化外延擴散多晶硅鎢化離子注入載流燒結等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣