潔凈度測試是無塵室性能測試的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都只在確認無塵室的潔凈度不受外來影響，因此潔凈度測試都放在前述幾項測試都通過之后。潔凈度測試完畢，與落塵有關的性能因素就都測試完畢，其它測試對潔凈度影響不大，或是屬于其它環境測試。
二、測試儀器
1111潔凈度測試使用微粒計數器，儀器須經校正合格且仍在有效期限內，交附報告時須附合格之校正文件。微粒計數器有不同規格，最常見的是流量 1cfm ，最小粒徑可測到 0.3mm 或是 0.1mm ，單位多是立方英呎。至于應使用何種設備，要依業主的規范而定。一般在產業界，多依以下方式選擇微粒計數器。
1111Class 1000 或更高： 0.5μm   
  11 Class 100 ： 0.3μm ，0.5um
  11 Class 1 到 Class 10 ：0.1μm
若是業主要求的粒徑范圍超過單一微粒計數器的范圍，則應該使用兩部微粒計數器。目前市面上少見立方公尺的微粒計數器，因此若是無塵室的潔凈度是以 ISO 為基準，則要把結果作換算。單位換算，不影響上限的計算程序。   
三、測試步驟：  
1111(1) 確定空調系統之測試調整與平衡已完成，濾網之風速及泄漏測試均已完成，并已修換破損部分。
1111(2) 確認測試位置與測試點數。
1111(3) 取樣時間：每點的取樣時間依照等級與粒徑不同而異，若取樣時間小于一分鐘，則以一分鐘為準。
111 (4) 測試位置應均勻分布在無塵室內，避免在產生大量粒子之附近，且將檢測儀器以適當之架臺支撐，不可以手持支撐。
111 (5) 測量點數以公式計算（與 209E 相同）。
四、驗收標準：
1111 潔凈度的驗收基準有二，首先是每點的微粒測量平均值必須低于規定值。潔凈度的第二個驗收基準就是，任一隔間若需使用信賴度上限分析，則該分析值也必須小于規定值。