【儀器簡介】

掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時，也可產生電子-空穴對、晶格振動 （聲子）、電子振蕩 （等離子體）。原則上講，利用電子和物質的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息，如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。

聚光鏡：可變焦聚光鏡 物鏡：超級錐形物鏡 物鏡光闌：3檔，X-Y可細調

電位移：±50微米 自動功能：聚焦，亮度，襯度，消像散 

最大樣品：直徑：150mm 樣品交換：抽拉式樣品臺 

真空系統：全自動擴散泵DP。分子泵TMP.

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