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儀器簡介：

　　BOC Edwards是全球最大的真空獲得設備制造商。其制造的TY3322751型高真空系統具有如下特性：

　　1.使用前級泵＋分子泵組合的高真空系統：前級泵選擇了油封旋片泵；該油泵具有單向閥及前級過濾器，并且在旋片泵和分子泵間加裝了截止閥來確保沒有返油的發生。

　　2. 70L/s的分子泵并配置了相應的旋片泵。

　　3.為盡快達到高真空，在分子泵上使用了加熱帶。

　　4.為了在分子泵停機后盡快穩定，增加了可控放氣閥。

　　5.安裝了油霧過濾器以防止油泵對室內環境的污染。

　　6.使用高低真空規各一個來檢測真空度，其測量范圍可從大氣壓至10-7 Par。

主要技術指標：

　　重量：凈重51Kg，毛重約65Kg；

　　外型尺寸：500mm(長)×500mm(寬)×422mm(高)

　　總功率：< 1Kw

　　旋片泵：實際抽速(50Hz)>3.3M3/Hr

　　極限真空：2E10-3mBar

　　分子泵：壓縮比(N2)>1E108

　　實際抽速(N2)：65L/s

　　最大轉速：90,000rpm

　　系統極限真空：<＝5E10-7 mBar：

應用范圍：

　　適用于需要高真空的測試環境