聯(lián)系人：梁雪(18964542931)

　　儀器簡介：

　　儀器配備以下主要附件：

　　1.新一代Elstar極靴內(nèi)探測器(TLD)

　　2. ETD二次電子探測器

　　3. Omniprobe AutoProbe 200.2機械手

　　4.鉑沉積氣體注入系統(tǒng)

　　5.內(nèi)置式等離子清洗系統(tǒng)

　　6.英國OXFORD公司INCA MX80-EDS

　　主要技術(shù)指標：

　　1.電子束系統(tǒng)分辨率：0.9nm(15kv)/1.4nm(1kv)

　　2.離子束系統(tǒng)分辨率：在束交叉點：4.5nm@30kV(統(tǒng)計測量法)

　　在束交叉點：2.5nm@30kV(單邊測量法)

　　3.電子束加速電壓：350V-30kV

　　4.離子束加速電壓：0.5-30kV

　　5.電子束流：≤22nA

　　6.離子束流：1pA–65nA

　　應(yīng)用范圍：

　　納米級加工及觀測研究。