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中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所

檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
  • 儀器名稱：ICP等離子體刻蝕機(jī)（深硅）
  • 價(jià)格型號(hào)：STS MPX HRM System
  • 儀器分類：其它
  • 應(yīng)用領(lǐng)域：
  • 所屬單位：中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
  • 所在地點(diǎn)：
  • 產(chǎn)　　地：
  • 產(chǎn)　　商：STS
  • 價(jià)　　值：0
  • 購(gòu)置日期：0000-00-00

技術(shù)指標(biāo)：溫度：0-80度，側(cè)壁垂直度：89°±1°。工藝氣體：He，SF6,C4F8,O2，Ar。 ICP功率：0-3000W，RF功率：0-300W

儀器用途：主要用于硅材料的高速，深度，大深寬比刻蝕。適用于六寸片及以下尺寸。刻蝕均勻性<±5%。

收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：450/30分鐘

機(jī)組負(fù)責(zé)人：張嬪  0512-62872625  pzhang2008@sinano.ac.cn

中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所



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