主要技術指標:分辨率:1.0nm@15kV、1.9nm@1kV;離子束分辨率:2.5nm@30kV;加速電壓:0.1-30kV(SEM)、1-30kV(FIB)
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功能/應用范圍:用于各種微納器件和低維納米人工結構的制作,是研究材料在低維度、小尺寸下量子行為的重要工具,應用范圍包含:微納電子器件、光電子器件、微納機電系統、超導電子學器件、磁電子學器件、光子晶體等。
主要測試和研究領域:電子/信息技術
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