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- 對固體樣品的元素成分進行定性、定量或半定量及價態分析。 固體樣品表面的組成、化學狀態分析，廣泛應用于元素分析、多相研究、化合物結構鑒定、富集法微量元素分析、元素價態鑒定。此外在對氧化、腐蝕、摩擦、潤滑、燃燒、粘接、催化、包袱等微觀機理研究；污染化學、塵埃粒子研究等的環保測定；分子生物化學以及三維剖析如界面及過渡層的研究等方面有所應用。
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